CAMECA的二次离子质谱仪结合了非常高的灵敏度和检出限（甚至包括轻元素）与高生产率。
原子探针断层分析仪器由CAMECA独家开发，为纳米级三维映射和组分测量提供了广泛的功能。
基于独特且获得专利的单腔体电子回旋共振（ECR）技术，CAMECA 离子源可产生各种形状和尺寸的离子束或电子束。